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用于PVD应用的经济型蒸汽流量计的优势解析

来源:作者:颁发时间:2019-05-16【

    那些在太阳能和半导体行业工作的人将熟悉物理气相沉积(PVD)或溅射,它通常用于在太阳能和半导体工业中在基板上形成材料薄膜。
    在PVD工艺中,带负电的电极通过分子轰击迟缓分解。PVD介质通常是氩气,因为这种气体产生足够的动量以从靶中释放原子。在真空环境中,这些自由靶原子自身沉积在材料表面上并形成所需的涂层或镀层。
    在PVD过程中,保持指定的气体质量流量到真空室是至关主要的。通常,真空泵站需要撙节阀或撙节阀限制装置来在引入PVD气体时控制泵的输出。该方法对压力极其敏感,可导致气体输送效率低,产物质量差。
插入式牵引器简化了热攻丝应用中<a href=/ target=_blank class=infotextkey>蒸汽流量计</a>的安装
    PVD在太阳能光伏发电中使用的薄膜制造中存在两个要害挑战。首先是使用高真空。由于使用的压降很小,PVD工艺需要对腔室中的绝对压力相对不敏感的流量控制装置。这排除了诸如孔板之类的装置,其需要大的压力差以有效地操作。
    第二个问题是保持非常精确的气体质量流量。由于通过PVD工艺沉积的层在许多情况下可以仅是分子厚的,因此需要非常精确的掺杂气体的输送方法。
    在Sierra Instruments,我们正在应对这些挑战并为两者提供解决方案:蒸汽流量计。仪器主动补偿系统压力(真空泵波动)或气源压力损失(气缸耗尽)的变化。SmartTrak 50为真空室提供精确控制的气体质量流量,以保持高质量的好终产物。
    无论您是机器制造商,系统集成商还是好终用户,我们的经济型蒸汽流量计和质量流量控制器系列都可为各种应用类型提供周全  的流量解决方案组合。

 

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